- Kompakte Systeme, minimale Stellfläche - Hohe Plasmadichten für kurze Prozesszeiten - Optimierte Homogenität durch Plasma-Array mit 2-dimensionalem Gaseinlasssystem - Hohe Beladekapazität
PIKNOS 30 MW
Allgemeine Daten
Abmessungen (BxTxH): 1,0 x 0,8 x 1,8 m Kammervolumen: 30 l Netzanschluss: 3/N/PE AC 400/230V Gasversorgung: Max. 4 Gasfluss-Controller mit einem Durchfluss von bis zu 500 sccm pro Controller
Aurion hat ein Verfahren zur Entkeimung und Barrierebeschichtung insbesondere von Hohlkörpern (wie z.B. PET-Flaschen) entwickelt. Bitte kontaktieren Sie uns, um den Einsatz dieser Technologie für Ihre Anwendung zu besprechen