Plasmatechnische Anlagen

Übersicht über unsere plasmatechnischen Anlagen

Die AURION Anlagentechnik GmbH bietet komplette Systemlösungen für die Behandlung und Beschichtung von Oberflächen 

  • zur Aktivierung, Reinigung und zum Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, sowie zum Reaktiven Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma
  • zur Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)
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