Plasmaanlagen

komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen
mittels Plasmaprozessen

  • Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma
  • Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)

 

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