IMAPlaS

Integrated Microwave Atmospheric Plasma Sources

files/aurion/images/plasma-alt/Dummyquelle.jpgIn Zusammenarbeit mit dem Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, wurden diese neuartigen, äußerst kompakten und preisgünstigen Plasmaquellen entwickelt.

Die Modelle der AURION IMAPlaS Serie können zum Aktivieren und Reinigen von Oberflächen aller Art eingesetzt werden, außerdem zum Abtragen diverser Materialien. Sie kommen so in weiten Gebieten der Mikroelektronik, Elektronik, Optik, Sensortechnik, Medizintechnik und verschiedensten weiteren Industriesegmenten zur Anwendung. Es handelt sich um voll integrierte, gebrauchsfertige Geräte in verschiedenen Konfigurationen.

Vorteile und Innovationen

files/aurion/images/plasma-alt/Plasmabrennt.jpgKompakt und integriert:
Durch einzigartiges Konzept, das elektrische Versorgung und Plasmaerzeugung integriert, ist kein separates Hochspannungs-Versorgungsgerät erforderlich.

Mikrowelle:
Anregung mit 2,3 GHz; Versorgung mit nur 24 V DC (Steckernetzteil genügt).

Atmosphäre:
Aufwändige Vakuumapparaturen entfallen. Beliebige Bauteilgrößen und -strukturen können behandelt werden.

Niedertemperatur:
Temperaturen kleiner 100 °C erlauben auch die Behandlung empfindlicher Bauteile, Folien etc.

Flexibilität:
Die IMAPlaS arbeiten mit den unterschiedlichsten Gasarten, Inertgasen sowohl als auch Reaktivgasen.

Biomedizinische Anwendungen:
NO kann mit großer Effizienz erzeugt werden. Dies erlaubt die Applikation zur Wundheilung, Behandlung von Narbengewebe und Hauterkrankungen. Entsprechende Labortests an Hautzellen sind erfolgreich verlaufen.