Cluster-Anlagen

AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.

Cluster-Anlagen       Cluster-Anlagen

Inline-Anlagen

AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Vorbehandlungskammern und Sputterkammern. Die Ausrichtung ist vertikal oder horizontal.