Neue Wege denken

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DIN EN 9001

Aurion ist DIN EN 9001:2008 zertifiziert.

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RIE-Anlagen

Plasmaanlagen zum reaktiven Ionenätzen, verschiedenste Kammerlayouts verfügbar.

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PECVD-Anlagen

Plasmaanlagen für die Abscheidung dünner Schichten aus der Gasphase.

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PVD-Anlagen

Plasmaanlagen für die Abscheidung dünner Schichten mittels Sputterprozessen.

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Atmosphärendruck-Plasmaquellen

Einzigartige Integration von elektrischer Versorgung und Plasmaerzeugung.

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Cluster-Anlagen

Mehrkammer-Plasmaanlagen mit Substrathandhabung (PVD, RIE, PECVD).

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Plasmaanlagen

Atmosphärendruck-Plasmaquellen, RIE-, Mikrowellen-Downstream-Plasma-, PVD- (Sputter-) und PECVD-Anlagen sowie Kombinationen daraus, inklusive Cluster-Anlagen.

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Komponenten

Hochfrequenztechnische Komponenten wie automatische Impedanz-Anpassungsnetzwerke (Matchboxen), Schalter, Filter, Power Splitter, Phasenschieber u.a.

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Dienstleistungen

Das Team von Aurion bietet seine jahrelange Erfahrung auf den Gebieten Plasma- und Hochfrequenztechnik für Beratungsdienstleistungen und im Rahmen von Schulungen an.

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Kontakt

Aurion Anlagentechnik GmbH

Am Sandborn 14
63500 Seligenstadt

Tel. +49(0) 6182 96 28 -0
Fax. +49(0) 6182 96 28 -16

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